一氧化氮

一氧化氮（NO）特性、应用及安全指南

1. 基本性质

• 化学式：NO

• 分子量：30.01 g/mol

• 物理状态：无色气体，微溶于水

• 气味：轻微甜味（高浓度时有刺激性）

• 密度：1.04（空气=1），略重于空气

• 沸点：-151.8°C

• 化学特性：

  • 常温下易氧化为NO₂（与O₂反应）

  • 自由基性质，生物信号分子作用

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2. 主要应用领域

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3. 标准气体配置

• 常见混合气：

  • NO/N₂：环保检测用（如100ppm NO/N₂）

  • NO/CO₂：医疗研究用

  • NO/He：激光技术用

• 纯度等级：

  • 工业级：≥99.5%

  • 电子级：≥99.99%（半导体用）

  • 医疗级：≥99.999%（GMP认证）

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4. 安全注意事项

• 健康危害：

  • 50ppm以上导致呼吸道刺激

  • 1000ppm可致急性肺水肿（OSHA限值25ppm/8h）

• 防护措施：

  • 使用防毒面具（NO专用滤罐）

  • 工作场所安装NO检测报警仪

• 储存要求：

  • 棕色钢瓶（避光）

  • 压力≤15MPa，避免与O₂混存

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5. 环境与法规

• 温室气体：间接贡献臭氧形成

• 处置方法：

  • 碱性溶液吸收（生成亚硝酸盐）

  • 催化氧化为NO₂后处理

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6. 常见问题

Q1：医疗用NO如何保证纯度？
A1：需通过：

• 低温精馏提纯

• 在线质谱仪监测（NO₂<1ppm）

Q2：NO在半导体中的作用？
A2：用于：

• 氧化硅刻蚀（与NF₃混合）

• 原子层沉积（ALD）工艺

Q3：如何检测NO泄漏？
A3：推荐方法：

• 电化学传感器（0-100ppm范围）

• 化学发光法（高精度检测）